Il rivestimento a diamante DLC è un film sottile amorfo metastabile, che ha le caratteristiche di alta qualità del diamante e della grafite e presenta i vantaggi di buona durezza, conducibilità termica, coefficiente di attrito a bassa attrito, eccellenti prestazioni di isolamento elettrico, elevata stabilità chimica, ecc. Il rivestimento DLC è preparato principalmente con il metodo di accumulo della fase di vapore fisico e il metodo di accumulo della fase di vapore chimico ed è prodotto da apparecchiature di accumulo speciale. Quella che segue è una breve introduzione alle cinque parti che costituiscono l'attrezzatura di deposizione di rivestimento.
1. Sistema di riscaldamento e raffreddamento ad acqua
Il sistema di riscaldamento e il sistema di raffreddamento dell'acqua sono distribuiti uniformemente attorno alla stanza di accumulo e la temperatura di riscaldamento, la velocità e il volume dell'acqua sono controllabili e regolabili e il corrispondente dispositivo di allarme è installato; Il sistema di rotazione si trova nella parte inferiore della camera di accumulo ed è isolato mediante ceramica isolante e la velocità di rotazione è controllabile e regolabile.
2. Sistema a vuoto
Il sistema a vuoto è costituito da una pompa meccanica, una pompa delle radici, una pompa di diffusione e le valvole di controllo corrispondenti e gli elementi di misurazione, che possono passare liberamente tra il vuoto alto e basso in base ai requisiti di processo.
3. Sistema di fornitura di gas
Il sistema di alimentazione del gas è posizionato sulla parte superiore della camera di accumulo e le varietà di gas includono H2, N2, AR, CHA, C2H2 e gas contenente Si e due interfacce sono riservate nella parte superiore della camera di accumulo per facilitare l'aggiunta di altre varietà di gas in futuro.
Al fine di ottenere lo strato di transizione contenente Si, SIH4 viene generalmente usato come gas materiale, ma SIH4 è più pericoloso, quindi scegliamo il gas meno pericoloso contenente Si come fonte Si nella lavorazione del rivestimento.
4. Il sistema target di impilamento
L'attrezzatura ha due unità di impilamento, PVD e PCVD, l'intenzione primaria dell'unità PCVD è per l'accumulo di diamante simile a un diamante (DLC), l'alimentazione selezionata è l'alimentazione di modulazione dell'impulso, i parametri possono essere regolati dopo l'altro, dopo la regolazione della caricamento, dopo la rettifica, dopo la rettifica, dopo la rettifica, dopo la rettifica, dopo la regolazione del lavoro, dopo la regolazione del lavoro, dopo la regolazione della stessa caricamento. Modalità, può anche essere rivestito sul pezzo complesso; Le intenzioni primarie dell'unità PVD sono: (1) Per substrati diversi, possono essere sostituiti target diversi con target diversi e diversi strati adesivi o rivestimenti DLC drogati con metallo contenenti diverse varietà di elementi; (2) Dopo aver sostituito il bersaglio, è possibile formare una varietà di rivestimenti compositi di "strato funzionale + DLC" per diverse categorie.
5. Sistema di controllo elettrico
Il sistema di controllo elettrico adotta il controllo attivo completo di PLC, incluso il computer host, il controller programmabile PLC, il convertitore di adattamento, l'alimentazione di controllo, il sistema di alimentazione del vuoto e il sistema di misurazione, l'alimentazione dell'alimentazione dell'aria, il sistema di controllo della temperatura, il controllo del rilevamento dell'acqua di raffreddamento, ecc. Prima che il forno è aperto monitorato in tempo reale. In caso di problemi, il dispositivo prenderà l'iniziativa per allarmare e, in base al livello di allarme, il dispositivo selezionerà la condizione "in attesa" o si fermerà direttamente e continuerà a funzionare dopo l'eliminazione dell'allarme. I record operativi e i record di allarme di ciascun forno sono attivamente memorizzati nel computer per un facile riferimento. Secondo i requisiti, l'apparecchiatura può essere modificata in un funzionamento manuale completamente e i parametri di rivestimento possono essere regolati nell'interfaccia operativa principale durante il processo di rivestimento.