Lam Research ha recentemente presentato il suo Dextro, il primo robot collaborativo al mondo progettato per la manutenzione delle apparecchiature di produzione di semiconduttori, e ha affermato che il robot è stato utilizzato da molte delle principali fabbriche del mondo.
Il cobot Dextro è un braccio robotico mobile posizionato su un carrello e controllato da un tecnico o ingegnere di produzione per eseguire tre attività chiave di manutenzione delle apparecchiature con l'aiuto di una varietà di "utensili manuali":
2 volte più preciso della mano umana durante l'installazione e la compressione dei materiali di consumo;
Serraggio preciso di bulloni sigillati sotto vuoto ad alta precisione, con un tasso di errore fino al 5% quando i dipendenti umani eseguono manualmente questo compito ripetitivo;
Qualsiasi accumulo di polimero sulle pareti laterali della camera può essere rimosso automaticamente senza smontare la camera inferiore, un compito che in precedenza richiedeva dispositivi di protezione respiratoria per carichi pesanti.
Ciò significa che Dextro può aiutare gli ingegneri degli stabilimenti a scaricare attività di manutenzione spesso dispendiose in termini di tempo, soggette a errori o pericolose, a migliorare l'accuratezza complessiva del processo, a ridurre le esigenze di manodopera, a ridurre gli sprechi, a ridurre i tempi di inattività e, in definitiva, ad aumentare la resa degli stabilimenti.
Lam afferma che un singolo cobot Dextro può servire da 50 a 100 camere per utensili Lam ed è attualmente disponibile per supportare la sua serie Flex G/H di strumenti di incisione dielettrica, con espansione ad altri strumenti e applicazioni a partire dal 2025.
Kim Young Ju, vicepresidente e capo del team di tecnologia di incisione della memoria presso Samsung Electronics, ha dichiarato:
Quando le apparecchiature di produzione richiedono manutenzione, è essenziale svolgere il lavoro in modo rapido ed efficiente per evitare tempi di fermo macchina prolungati e costi inutili.
La manutenzione priva di errori di Dextro aiuta a promuovere miglioramenti nella variabilità e nella resa della produzione. Questa è una pietra miliare entusiasmante per Samsung verso la propria fabbrica.